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精密機構件與光學、半導體周邊零組件,要求微米級尺寸公差與表面一致性
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公差與一致性,是精密工業的底線
高尺寸公差控制,膜厚增量需精準預估
均勻膜厚與外觀一致性,批次間無色差
低微粒、高潔淨度的製程環境要求
批次品質穩定,並可完整追溯製程履歷
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