半導體設備

產業需求

潔淨與耐蝕，是設備穩定運轉的前提

• Type III 硬質陽極處理，耐磨耐蝕
• 低微粒、低出氣（outgassing）表面處理
• 封孔製程需耐化學藥液腐蝕
• 批次履歷完整可追溯，符合設備商稽核

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