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精密工業
精密機構部品や光学・半導体周辺部品など、ミクロン単位の寸法公差と表面の均一性が求められる分野
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産業ニーズ
公差と均一性は精密工業の基本条件
膜厚増加を精密に見積もった高精度な寸法公差管理
ロット間の色差のない、均一な膜厚と外観
微粒子の少ない高清浄度の工程環境
安定したロット品質と完全な工程履歴の追跡
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製品事例は準備中です。近日公開予定。
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