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半導体装置
清浄度・耐薬品性・微粒子管理に極めて高い要求がある、半導体装置の構造部品やチャンバー部品
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清浄度と耐食性が装置の安定稼働を支える
耐摩耗・耐食性に優れたType III硬質陽極酸化処理
低微粒子・低アウトガスの表面処理
薬液腐食に耐える封孔処理
装置メーカーの監査に対応する完全なロット履歴
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